聚焦離子束-掃描電子顯微鏡-能譜儀系統（FIB-SEM-EDS）招標公告

儀器設備名稱

聚焦離子束-掃描電子顯微鏡-能譜儀系統（FIB-SEM-EDS）

購置平臺

檢測中心

1.  設備名稱及數量

    聚焦離子束-掃描電子顯微鏡-能譜儀系統  壹 套

2.       設備用途和總體功能要求 

掃描電子顯微分析在各種材料及器件研究中具有極其的地位，是形貌研究中使用頻率最高的設備之一，已成為科研工作不可缺少的常規設備。FIB-SEM雙束系統中場發射掃描電鏡主要用于觀察、分析和記錄樣品的微觀形貌，聚焦離子束用于樣品微納米尺度下的切割、刻蝕，透射樣品制備、原子探針針尖加工等工作能譜儀主要用于樣品元素分析。

3.  技術規格和要求：

備注：“*”表示設備規格的必要條件，必須達到該規格。

3.1   離子束及輔助氣體注入系統技術要求

3.1.1 離子束系統：

1）離子源種類：液態Ga離子源；

*2）分辨率：≤ 3.0nm@30kV（統計平均值測量法）；

3）加速電壓：0.5kV - 30 kV；

4）束流強度：最小值不高于1pA，最大值不低于65nA；

5) 電子束和離子束交叉點工作距離不大于7mm；

6）離子源壽命：≥ 1300小時/2600uAh；

7）連續工作時間：Ga離子可至少連續工作72小時才需進行Heating。

3.1.2 輔助氣體注入系統：

1）擁有獨立的分離式氣體注入系統，可重新配置；

*2）具備金屬沉積系統，可在離子束、電子束誘導下進行Pt的沉積。

3.1.3 具備束流測量裝置。

3.1.4 具備實時觀察離子束加工的監控功能。

   3.2 電子束

      1）電子槍類型：肖特基場發射燈絲；

      *2）分辨率：在工作距離 ≤1.0nm@15KV，≤1.6nm@1KV；

      3）加速電壓：不小于0.4 kV ～ 30 kV范圍；

      *4）束流強度：最小值不高于10pA，最大值不低于300nA；

      5）最小著陸能量：不高于20V；

      6）電子槍壽命：保證至少可使用1年；

      7）物鏡系統：電磁/靜電式物鏡系統，電子束無交叉光路設計；

      8）全自動光闌系統。

   3.3 探測器

      1）樣品室內配備獨立二次電子探測器；

      2）極靴內配備探測器 (二次電子)；

      3）背散射電子探測器；

      2）可實現二次電子信號與背散射信號同時且分別成像。

   3.4 機械手

      1）電腦軟件數字化控制針的精確移動，自動控制，無需手柄；

      2）四維方向移動（X\Y\Z\R）；

      3）X/Y/Z方向移動精度優于100nm；

      4）原位旋轉精度正負1度；

3.5 真空系統

      1）完全無油真空系統；

      2）樣品室真空度：不高于6x10^-6 mbar。

   3.6 樣品室及樣品臺

      1）多軸高精度馬達樣品臺：XY方向重復精度不大于2 μm；

      2）樣品室內紅外CCD相機系統；

      3）樣品室內部尺寸不小于330mm×260mm；

      4）樣品臺X Y 方向移動范圍不低于100mm，Z方向移動范圍不低于50mm，可繞Z軸旋轉任意角度，傾斜角度 T 范圍不小于-4到70度；

      5）換樣時間：<3.5分鐘。

3.7 冷卻水系統

  1）要求有空壓機和冷卻循環水系統，分別用于冷卻SEM鏡筒及其它部件；

3.8 系統控制

  1）基于Windows 7操作系統的64位圖形用戶界面，鍵盤，鼠標，及手動用戶界面；

  2）圖像顯示：至少兩臺24” LCD顯示器，分辨率不低于 SVGA 1900 x 1200；

  3）帶有旋鈕控制面板鍵盤、鼠標, 控制樣品臺的雙軸遙感操作系統，可自動調節：電子槍對中、亮度與襯度、調焦和象散、動態聚焦、傾斜補償等；

  4）圖像處理器：駐留時間0.025 到25000 μs/pixel；

5）文件格式：TIFF (8, 16 or 24位)，BMP或JPEG格式，單幅或4幅顯示；

4.  產品配置要求

4.1 場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站            一套

4.2 電鏡控制系統                                 一套

4.3 樣品室紅外CCD相機                          一套

4.4 極靴內探測器                                                                                 一套

4.5 二次電子探測器                                                                            一套

4.6背散射電子探測器                                                             一套

4.7      無油真空系統                                                                                     一套

4. 8 鉑沉積氣體                                                                                     一套

4.9 通用樣品座                                                                                               一套

4.10 空壓機                                                                                             一套

4.11 冷卻循環水機                                                                         一套

4.12 機械手                                                                         一套

4.13 能譜儀                                       一套

4.14.1探測器：硅漂移SDD電子制冷探頭，獨立封裝FET場效應管，圓型硅漂移晶體, 超薄窗設計。獨立真空，僅消耗電能，無需循環水及其他真空泵或風扇制冷，沒有震動；

4.14.2*晶體面積：有效面積不小于60 mm2，要求機身銘牌顯示；

4.14.3能量分辨率：≤127eV at Mn-Kα；

4.14.4元素測試范圍：范圍大于4-94號元素；

4.14.5探測器可通過軟件控制，實現自動伸縮，無需手搖；

4.14.6譜峰穩定性: 1,000cps 到 100,000cps，Mn Ka 峰譜峰漂移小于1eV，48 小時內峰位漂移小于 1.5eV；

4.14.7最大輸入計數率：不小于800000cps；

4.14.8無漏磁電子陷阱設計，對掃描電鏡無任何影響；

4.14.9峰背比：優于20000:1；

4.14.10具備有標樣定量分析及無標樣定量分析方法; 可以得到歸一化和非歸一化定量結果；

4.14.11原裝進口工作站：CPU i5以上、獨立顯卡、內存≥8G、硬盤容量≥500GB、 DVD 讀寫光驅、顯示器不小于24英寸。

4.14.12支持點掃、線掃、面掃三種掃描方式；

4.14.13三種掃描方式（點、線、面），每種掃描方式下，支持譜峰分離分析；

4.14.14三種掃描方式（點、線、面），每種掃描方式下，支持離線分析，離線情況下可減少或添加元素分析；

4.14.15支持電子束漂移補償；

4.14.16能譜應用軟件基于Windows 7平臺，采用多任務設計，可以同時并行數個任務，并支持分屏顯示及遠程控制；導航器界面設計, 操作簡便，界面友好, 并具有中文和英文操作界面，可以自由切換。

5.  附件及零配件

5.1   耗材：碳導電膠3個（8mm x 100mm）、銀導電膠 3盒、樣品做標準小樣品座 20個、專用鑷子 1套；

5.2   備用電源；

5.3   維修專用工具 1套；

6.  技術服務

6.1 設備安裝調試

1）在儀器到貨前廠家派遣工程師攜帶專用設備對用戶實驗室的地面振動和環境雜散磁場進行免費的檢測；

2）儀器到達用戶所在地后，在接到用戶通知后1周內執行安裝調試；

3）儀器的安裝調試應在于一個月內完成；

6.2 技術培訓：

1）在用戶現場對用戶為期3天的培訓。培訓內容包括：儀器的技術原理、操作、數據處理、基本維護等；

2）培訓時間可針對用戶情況延長時間, 除了儀器操作維護培訓外, 在儀器到達客戶實驗室之前安排到技術中心和演示實驗室進行預培訓；

6.3 保修期：提供12個月免費保修，保修期自驗收簽字之日起計算；

6.4 維修響應時間：儀器供應方應在12小時內對用戶的服務要求做出響應，接到用戶維修通知后3個工作日內必須到客戶現場；

6.5軟件升級：在硬件支持的前提下，應用軟件終身免費升級；

6.6 生產廠家在長三角地區具有獨資建立的全套技術中心和演示實驗室。在用戶儀器到貨前，可免費到該中心做樣，儀器到貨后，該中心也免費向用戶開放。

7.  技術文件

7.1隨設備提供設備的操作說明手冊、維護手冊和服務手冊(可電子版)；

7.2設備安裝條件及實驗室條件說明。

8.  包裝要求及運輸方式

    8.1包裝要求：應使用嶄新堅固之木箱（標準出口包裝），適合于空運、陸運等長途運輸方式；適合氣候變化；抗震、防潮、防雨、防銹、防凍。投標商應對任何由于不當包裝或防護措施不利而導致的商品損壞、損失、銹蝕、費用增長等后果負責。

    8.2運輸方式：空運

9.交貨日期：合同簽訂后6個月

   供應商類型：   分銷商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  兩者都是(Both)□；

公司名稱/簡稱(Name of  Company /Brief Name)：

地址(Address)：

電話

(Tel)

傳真

(Fax)

電子郵件

(E-mail)

產品介紹：產品名稱、產地、產量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交貨地點方式                                     幣種                                支付條款

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發票類型            □17%增值稅發票(VAT)   □6%增值稅發票(VAT)

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業務聯系人英文名稱：(English Name of Contact Person)

性別(Gender)

電話(Tel)

財務聯系人

(Fin Person)

性別

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